HXH-800

多晶硅铸锭炉

HXH-800

引进日本技术,针对太阳能电池市场需求而开发的高性能多晶硅铸锭设备。该设备将多晶硅碎块料、头尾料、锅底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内,经融化、重新定向结晶及退火等工艺,铸成生产太阳电池的前道原料——多晶硅锭。

高产能:
融合当代各种新技术,装料量大,大幅提升产能;

安全性:
采用独特的陶瓷纤维+石墨硬毡双重安全防护设计并有自动漏硅感应系统,可及时启动漏硅应急措施。其卓越的安全性能,能大大降低事故隐患。

高品质:
独特的性能加热系统与保温措施,能保证结晶过程中硅材料电阻率的均匀性和一致性,并有效降低耗能,减少企业成本。

自动化:
中央集成控制系统,具有高速微处理器的检测与处理。

完善的服务:
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。

技术参数

型号 HXH-800
产品规格 投料量 800kg装料
晶锭尺寸 1000mm×1000mm×350mm
设备真空度 结晶环境 55-60kPa(工艺要求)
空冷炉极限真空度 3Pa以下
允许漏泄量 5Pa/Hr以下
重量 主炉体 约4800kg
机架 约1180kg
操作台 约2100kg
操作箱 约50kg
控制箱 约400kg
电源箱组 约2500kg
主机外形尺寸   3900mm×4910mm×5735mm
 
腔体
部件
规格

 
内径 2104mm
材质 内:SUS304L 厚度为:14mm
内:SUS304L 厚度为:8mm
高度 上腔体:2000mm
下腔体:1105mm
炉盖厚:65mm
三组电极中心距 900mm
观察窗 测温及观察:一处
冷却水流路分隔 螺旋形构造
冷却水排水口 炉体各部件最上部
保温罩
升降机构部件规格
升降驱动方式 自动/手动
升降轴行程 ≤380mm
限位开关 两处(上限、下限)
下腔体升降机构部件规格 升降驱动方式 自动/手动
升降行程 1000mm
限位开关 两处(上限、下限)
真空管路系统部件规格 主真空管道的接口尺寸 ISO-K100
轴真空管道的接口尺寸 ISO-KF16
控制蝶阀 自动/手动
炉压控制精度 ±0.10kPa
接口位置 上炉筒的左侧面(主真空机组)
Ar气管路 最大流量 100L/min(用MFC控制Ar)
系统部件 输入压力 0.27MPa以上
规格 端口位置 炉盖上部
 
冷却水系统
部件规格
冷却水源输入输出口为螺纹连接,通径尺寸 Ø50mm(Rc2")
流量 ≤180-220 L/min
水压 4kgf/cm² - 4.5kgf/cm²
进出水压力差 2 kg/cm²  以上
进水温度 15~25℃
 
电器 
控制 
系统
 
加热器电源 
部件规格
输入电压:380V AC三相五线制(50Hz) 320A
加热器功率:173KW(AC 0-25V 0-4000A)
输出控制方式:温度控制/功率控制
功率控制精度:额定输出±1%以内
温度测定系统
部件规格
①B型热电偶
  测定范围:0-1800℃
重复精度:±0.5℃(或±0.0025%全量程)
②红外测温仪
重复精度:0.1%(全量程)
测定范围:600-3000℃
测定波长:0.85-1.1μm
工艺控制方式 控制器构成 工业控制计算机 高性能PLC
控制方式 ①装料:手动 ②抽真空:手动/自动 ③加热:手动/自动 ④溶解、稳定:手动/自动
⑤凝固、结晶:手动/自动  ⑥退火:手动/自动  ⑦冷却:手动/自动 ⑧取出:手动
 

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