FT-CZ1200PV

直拉式单晶炉

FT-CZ1200PV

拉晶过程全程自动化

高效率的设备运作 单晶硅棒高收率,95%以上的整棒生产率。

结构精良的机械构造
机械部分均采用高精度数控加工,高品质零部件,日本JIS标准焊接工艺,以及先进的自动控制系统。

安全可靠的设备装置
具备电源安全保护装置,炉体水温报警系统,及炉压异常报警系统。采用自动报警系统,两次泄压装置,及UPS应急电源,有效避免爆炸等事故和整炉硅棒报废的发生。

先进的控制系统
全面数字化管理、全自动操作。

技术特点
多次装料技术,单次高达50KG
自主研发设计的坩埚抓取机械手,开炉冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术,保证籽晶轴的转动密封
自主研发设计的水冷套和可升降式水冷屏,提高生产效率,降低单位能耗。
自主研发设计的取棒车,方便成品晶棒的提取和运输。

完善的服务
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。

技术参数

型号 FT-CZ1200Pv
周围温度 15-30摄氏度
周围湿度 ≤65%(必须保证没有结露情况的发生)
洁净度 一般环境
真空度 结晶拉制环境:2.7KPa(20Torr)
到达真空度 3Pa以下
泄漏量 0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径 8"
最大装料量 350Kg
腔内最小直径 φ320mm
最大热场规格 28"
最大石英坩埚规格 28"
最大长晶长度 3500mm以下(颈部至尾部)
籽晶轴行程 约5600mm
籽晶提升速度(低) 0-7.9mm/min
籽晶提升速度(高) 500mm/min
籽晶旋转速度 2-20rmp
坩埚升降速度(低) 0.03-3mm/min
坩埚升降速度(高) 200mm/min
坩埚轴最大承重 550kg
坩埚转速 2-20rmp
坩埚升降轴行程 700mm
重量 炉主体 8000kg
  操作箱 80kg
  电气控制箱 500kg
  加热器电源箱 1800kg
电源 定格电压 三相380V  50/60Hz
  定格电容 320KVA
  定格流量 500A
设备最大高度 <10150mm

上一篇:没有了

下一篇:8/12英寸半导体单晶炉