使用金刚线或游离砂浆切割半导体碳化硅、蓝宝石等硬晶体的摇摆型切片专用设备。
性能优势
加工直径兼容6英寸、8英寸,实现一机多用;
装载量最大450mm,实现多锭同时切割;
最大线速度可达2100m/min,处于行业领先水平;
进给机构可实现高精度超低速进给,且可进行高低速切换;
主轴、绕线轮轴采用循环水冷方式,确保高速、长时间稳定可靠运行,轴承寿命长,使用成本低;
所有动力驱动采用高精度伺服电机驱动,控制光纤通信,响应速度快,并采用圆弧同步带高精度平稳传动,运行可靠;
通过模块化切换,可兼容砂浆、金刚线切割。
碳化硅多线切片机 | ||
设备尺寸 | W4030×D2010×H3210mm | |
设备重量 | 约11000kg | |
加工能力 | 直径(或对角线尺寸) | 6英寸、8英寸 |
厚度 | Max.450mm | |
支持系统 | 电源容量 | Max. 120KVA |
电源电压 | AC三相380V | |
压缩空气(供给压力) | 0.6 MPa以上 | |
主轴 | 主电机 | 25kW |
罗拉尺寸 | φ190mm*L450mm | |
晶托 | 尺寸 | W130×L460mm |
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