采用提拉式进行氟化物晶体生长，即通过电阻加热碳加热器，融化石墨坩埚内熔料。籽晶浸入溶液后旋转提拉，进行氟化物生长。
性能优势
1、腔体内壁经镜面抛光，减少气体附着，具有高真空获得能力与长时间保压能力；
2、高精度籽晶和坩埚的升降与旋转运动；
3、可以实现自动工艺方式；
4、系统自动记录工艺过程中的重要参数，可以生成Excel文件，方便用户查询；
5、配有高精度称重装置，其测量结果可参与长晶工艺控制。
| 提拉式氟化物长晶炉 | |||
| 晶体尺寸 | 6英寸 | ||
| 工艺 | 提拉式 | ||
| 加热方式 | 电阻式 | ||
| 基本参数 | 主机尺寸 | W1750xD1300xH4000mm | |
| 整机重量 | 约4T | ||
| 支持系统 | 电 源 | 容 量 | 侧加86.7kVA/低加50.7kVA |
| 电 压 | 3AC 380V，3P，50Hz | ||
| 冷 却 水 | 压 力 | 0.35~0.5MPa | |
| 流 量 | ＞200L/min | ||
| 工艺气体 | 压 力 | ≥0.2MPa | |
| 压缩空气 | 压 力 | 0.5~1.0MPa | |
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