FT-CZ1200Si/1400Si

硅材料级单晶炉

单晶炉 - 在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备 拉晶过程全程自动化

单晶炉 - 在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备 拉晶过程全程自动化

大直径结构
针对大直径晶棒生长所需空间,目前已批量生产φ620mm大直径晶棒
可分别采用内部加料器和外部加料器,保证运行效率
采用超低碳不锈钢材料,精密的监测、监控元器件,以保障设备运行率
结构精良
机械部分均采用高精度数控加工,焊接工艺符合日本JIS标准
炉子腔体内外层均采用超低碳不锈钢,双层水冷式结构
运动部件真空密封,采用磁流体密封技术
炉腔法兰为整体锻造件
配套有CCD晶棒直径自动控制系统ADC
密封圈材质采用氟橡胶
高品质的真空管路系统
电源供应系统
安全配置
具有电源安全保护装置,炉压异常报警系统,炉体水路异常报警系统
采用自动报警系统和两次泄压装置,小量泄露启动泄压阀即可,大量泄露炉盖自动弹开泄压
控制系统
全面数字化管理、全自动操作(操作界面集成磁场系统、液位控制系统的操作)
 
多次装料
根据客户要求可提供多种规格的加料器
实现多次装料的技术,可分为内部装料和外部装料,大大提高生产效率,降低生产成本
采用自行研发的坩埚抓取机械手,使每次开炉后的冷却时间减少2-3小时
磁流体密封技术,保证了设备整体的转动密封性
自行研发设计的水冷套,提高晶体品质
自行研发设计的取棒车,方便取成品晶棒和运输
 
健全的质量管理
材料受入检验,保障材料品质、精度
完备的作业指导文件,分解部套装配流程
过程和产品监视测量控制程序,保证出荷设备的一致性
 
服务内容
售前服务 — 提供完善的售前咨询解答,包括工厂车间设计方案,产能设计方案等
生产培训 — 客户生产前的整体培训,以及生产过程中的全部指导
技术人员驻厂服务 — 协助客户解决生产过程中遇到的疑惑
及时零部件配送 — 我们提供快递式的零配件配送服务,以确保客户的生产效率
定期回访客户 — 及时了解客户的进一步需求,保证客户的满意度
软件升级 — 设备上使用的软件具备实时更新功能

  硅材料级
FT-CZ1200Si
硅材料级
FT-CZ1400Si
备注
(适用于两种型号)
场所 周围温度   15-30℃ 15-30℃  
周围湿度 ≤65%(无结露、腐蚀气体) ≤65%(无结露、腐蚀气体)  
洁净度 一般环境水平 一般环境水平  
噪音 ≤75db ≤75db  
地基 2300kg/㎡以上 2300kg/㎡以上  
电源 定格电压 3P 380VAC±10% 50/60Hz 3P 380VAC±10% 50/60Hz  
定格容量 320kVA 350kVA(主副合算)  
定格电流 500A 530A(主副合算)  
冷却水 流量范围 350 ~ 400L/min 500L/min  
供给压力 0.3 ~0.4MPa 0.3 ~0.4MPa  

设备参数 
设备高度 <8991mm <8600mm △视上炉筒高度而定
设备重量 约10T 约15T ※不含磁场
腔体材料 304L/316L 304L/316L  
炉腔内径 1200mm 1400mm  
喉口内径 340mm 520mm
真空度 MAX 1Pa MAX 1Pa  
泄漏量 5Pa/hr 5Pa/hr  
籽晶行程 约4500mm 约4700mm  
籽晶低速升降速度   0.08-7.9mm/min 0.03-7.9mm/min  
籽晶转速 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm ※籽晶共振点以外
籽晶称重 MAX 350kg MAX 500kg
坩埚行程 700mm 700mm  
坩埚低速升降速度 0.03 ~ 3.0mm/min 0.008 ~ 1.6mm/min  
坩埚转速 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm  
坩埚轴承重 MAX 600kg MAX 1000kg △可根据客户要求加大承重量         
磁场升降行程 - 1500mm  
磁场升降速度 - MAX 120mm/min  
磁场机构重量 - MAX 13000kg

全国热线

021-36162928

Copyright © 上海汉虹精密机械有限公司 沪ICP备12008363号-1

在线咨询

感谢您的关注,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

提交
取消

微端咨询

扫描二维码,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

取消

扫描二维码,关注抖音汉虹官方公众号

取消