8/12英寸半导体单晶炉

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晶体加工设备

晶体长晶炉

FT-CZ1200Se/1400Se

8/12英寸半导体单晶炉

拉晶过程全程自动化

设备运作效率高
单晶硅棒高收率以及90%以上的整棒生产率

机械部件结构精良
机械部分均采用高精度数控加工，焊接工艺符合日本JS标准

设备装置可靠
具有电源安全保护装置，炉体水温报警系统，炉压异常报警系统

控制系统先进
全面数字化管理、全自动操作

技术特点
实现多次装料的技术，每次装料可高达50KG，可分为内部装料和外部装料，
极大提高生产效率，并降低生产成本
采用自行研发的抓取机械手，使得每次开炉后的冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术，保证了籽晶轴的转动密封
自行研发设计水冷套，提高生产效率，降低单位能耗
自行研发设计的取棒车，方便取成品晶棒和运输

服务完善
完善的售前服务，整体的生产培训，技术人员驻厂服务，及时的机械零部件配件，定期回访客户，实时的软件升级更新。

型号		FT-CZ1200Se
周围温度		15-30摄氏度
周围湿度		≤65%（必须保证没有结露情况的发生）
洁净度		1000级净空房
真空度		结晶拉制环境：2.7KPa（20Torr）
到达真空度		3Pa以下
泄漏量		0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径		8"
装料量		MAX 240Kg
腔内直径		MIN φ340mm
热场规格		MAX 28"
石英坩埚规格		MAX 28"
上炉室炉筒高度		可根据客户要求定制
籽晶轴行程		约4800mm
籽晶提升速度（低）		0.08-7.9mm/min
籽晶提升速度（高）		500mm/min
籽晶旋转速度		2-20rmp
坩埚升降速度（低）		0.03-3mm/min
坩埚升降速度（高）		200mm/min
坩埚轴承重		MAX 500kg（可根据客户要求加大承重量）
坩埚转速		0.3-20rmp
坩埚升降轴行程		700mm
加热器升降速度（低）		2mm/min
加热器升降速度（高）		100mm/min
加热器升降行程		250mm
磁场升降速度		MAX 400mm/min
磁场升降行程		1250mm
磁场重量		10ton以下
重量	炉主体	20ton以下
	操作箱	80kg
	电气控制箱	500kg
	加热器电源箱	1800kg
电源	定格电压	三相380V 50/60Hz
	定格电容	320KVA
	定格流量	500A
设备高度		＜9100mm