太阳能级单晶炉

首页

产品

晶体加工设备

晶体长晶炉

FT-CZ1200PV

太阳能级单晶炉

拉晶过程全程自动化

设备运作效率高
单晶硅棒高收率，95%以上的整棒生产率。

机械构造结构精良
机械部分均采用高精度数控加工，高品质零部件，日本JIS标准焊接工艺，以及先进的自动控制系统。

设备装置可靠
具备电源安全保护装置，炉体水温报警系统，及炉压异常报警系统。采用自动报警系统，两次泄压装置，及UPS应急电源，有效避免爆炸等事故和整炉硅棒报废的发生。

控制系统先进
全面数字化管理、全自动操作。

技术特点
多次装料技术，单次高达50KG
自主研发设计的坩埚抓取机械手，开炉冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术，保证籽晶轴的转动密封
自主研发设计的水冷套和可升降式水冷屏，提高生产效率，降低单位能耗。
自主研发设计的取棒车，方便成品晶棒的提取和运输。

服务完善
完善的售前服务，整体的生产培训，技术人员驻厂服务，及时的机械零部件配件，定期回访客户，实时的软件升级更新。

型号		FT-CZ1200Pv
周围温度		15-30摄氏度
周围湿度		≤65%（必须保证没有结露情况的发生）
洁净度		一般环境
真空度		结晶拉制环境：2.7KPa（20Torr）
到达真空度		3Pa以下
泄漏量		0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径		8"
装料量		MAX 350Kg
腔内直径		MIN φ320mm
热场规格		MAX 28"
石英坩埚规格		MAX 28"
长晶长度		MAX 3500mm（颈部至尾部）
籽晶轴行程		约5600mm
籽晶提升速度（低）		0-7.9mm/min
籽晶提升速度（高）		500mm/min
籽晶旋转速度		2-20rmp
坩埚升降速度（低）		0.03-3mm/min
坩埚升降速度（高）		200mm/min
坩埚轴承重		MAX 550kg
坩埚转速		2-20rmp
坩埚升降轴行程		700mm
重量	炉主体	8000kg
	操作箱	80kg
	电气控制箱	500kg
	加热器电源箱	1800kg
电源	定格电压	三相380V 50/60Hz
	定格电容	320KVA
	定格流量	500A
设备高度		＜10150mm