
拉晶过程全程自动化
设备运作效率高
单晶硅棒高收率,95%以上的整棒生产率。
机械构造结构精良
机械部分均采用高精度数控加工,高品质零部件,日本JIS标准焊接工艺,以及先进的自动控制系统。
设备装置可靠
具备电源安全保护装置,炉体水温报警系统,及炉压异常报警系统。采用自动报警系统,两次泄压装置,及UPS应急电源,有效避免爆炸等事故和整炉硅棒报废的发生。
控制系统先进
全面数字化管理、全自动操作。
技术特点
多次装料技术,单次高达50KG
自主研发设计的坩埚抓取机械手,开炉冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术,保证籽晶轴的转动密封
自主研发设计的水冷套和可升降式水冷屏,提高生产效率,降低单位能耗。
自主研发设计的取棒车,方便成品晶棒的提取和运输。
服务完善
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。
型号 | FT-CZ1200Pv | |
周围温度 | 15-30摄氏度 | |
周围湿度 | ≤65%(必须保证没有结露情况的发生) | |
洁净度 | 一般环境 | |
真空度 | 结晶拉制环境:2.7KPa(20Torr) | |
到达真空度 | 3Pa以下 | |
泄漏量 | 0.1Pa/min or 5Pa/hr | |
拉制晶棒直径 | 8" | |
装料量 | MAX 350Kg | |
腔内直径 | MIN φ320mm | |
热场规格 | MAX 28" | |
石英坩埚规格 | MAX 28" | |
长晶长度 | MAX 3500mm(颈部至尾部) | |
籽晶轴行程 | 约5600mm | |
籽晶提升速度(低) | 0-7.9mm/min | |
籽晶提升速度(高) | 500mm/min | |
籽晶旋转速度 | 2-20rmp | |
坩埚升降速度(低) | 0.03-3mm/min | |
坩埚升降速度(高) | 200mm/min | |
坩埚轴承重 | MAX 550kg | |
坩埚转速 | 2-20rmp | |
坩埚升降轴行程 | 700mm | |
重量 | 炉主体 | 8000kg |
操作箱 | 80kg | |
电气控制箱 | 500kg | |
加热器电源箱 | 1800kg | |
电源 | 定格电压 | 三相380V 50/60Hz |
定格电容 | 320KVA | |
定格流量 | 500A | |
设备高度 | <10150mm |

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