晶体生长加工设备

含半导体级直拉式单晶炉、碳化硅长晶炉

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    LPE碳化硅长晶炉

  • 6 ~ 8英寸LPE碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式)

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  • 6 ~ 8英寸PVT碳化硅长晶炉 (感应式)

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