汉虹12英寸半导体单晶炉荣获上交会国际发明创新展览会金奖
企业新闻2023-07-06
社交媒体 | 
6月17日，中国(上海)国际技术进出口交易会圆满落幕。会上，上海汉虹精密机械有限公司报送的12英寸半导体单晶炉凭借其先进的技术荣获国际发明创新展览会金奖。
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中国(上海)国际技术进出口交易会(以下简称“上交会”)是经国务院批准，由商务部、科技部、国家知识产权局和上海市政府共同主办，联合国工业发展组织、联合国开发计划署、世界知识产权组织支持，是我国首个集技术展示和交易服务为一体的国家级、国际性、综合性展会，在吸引全球企业发布最新创新成果、促进科技成果转移转化、建设国际创新合作网络等方面发挥了积极作用。
此次荣获大会金奖，正是对汉虹长久以来坚持改革创新，不断提高研发和制作能力的最好肯定。
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汉虹FT-CZ3212型12英寸半导体单晶炉，实现了国内半导体设备单晶炉制造的突破，汉虹12英寸半导体单晶炉实现了：
1:低能耗32英寸大尺寸热场，GSim热解析全新热场结构；
2:设计有去除氧化物的真空排气管道，可以自动清除管道内的氧化物；
3:全新气囊密封水平开闭式真空水冷旋板阀，解决阀体内部因受空间影响产生的工艺气体紊乱，造成在此段晶体直径波动大，容易NG的难题；
4:双层水冷套结构，集冷却水和工艺气体吹扫，有效冷却晶棒的同时可以清扫氧化物，提高晶体的质量；
5:液面稳定控制系统，采用德国高精度激光液口距检测反馈控制系统，能精确控制液面到热屏距离在设定距离H±0.5mm，减少液面波动对拉晶的影响；
6:可升降水冷轴提升热屏，采用高精度直性模组；
7:磁场升降采用四轴同步升降系统，升降结构稳定可靠，解决了升降时产生振动和异响问题；
8:一体式自定心重型籽晶夹头，籽晶与夹头间采用一高强度石墨套过渡，石墨套外锥与夹头配合，内锥与籽晶配合，采用锥度连接，自动定心找正，解决了籽晶与夹头咬死问题。
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通过创新，汉虹已使12英寸单晶炉设计走在了国内半导体设备的前列。未来，汉虹也将不忘初心，继续深耕半导体设备领域，不断提升先进制造技术，不断提升工艺水平，为客户提供更具竞争力的产品和服务！
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