在这个科技进步飞速的时代，每一项创新都是对未来的坚定探索！上海汉虹精密机械有限公司的“12英寸半导体单晶炉”项目，凭借其卓越表现，斩获由国家科技主管单位权威认证、中国发明学会精心设置的“发明创业项目奖”银奖殊荣，这是对技术革新能力的高度赞誉，也是产学研紧密结合、追求高质量发展的亮丽标志！

在激烈竞争中，汉虹的12英寸半导体单晶炉自2248个项目中崭露头角，经过严格筛选与评审，与全球前沿创新成果比肩，共绘科技创新的宏伟图景。

这一荣耀，紧接着“第34届上海市杰出发明选拔赛金奖”及“第六届中国（上海）国际发明创新博览会金奖”之后，汉虹再次以其实力书写辉煌，有力证明了中国半导体装备制造行业的蓬勃兴起！

2022年12月，12英寸半导体单晶炉从众多创新成果中脱颖而出，一举摘得“优秀发明金奖”这一殊荣。该奖项由上海市总工会、上海市知识产权局、共青团上海市委员会、上海市科学技术协会及上海发明协会等多家权威机构联袂颁发，其含金量不言而喻，是对获奖技术在创新性、实用性和行业引领价值上的高度认可。

12英寸半导体单晶炉在国际发明创新展览会上荣膺金奖，这一荣誉不仅是对技术创新力的高度认可，更是全球范围内该领域高水平的标志。该展览盛会由商务部、科技部、国家知识产权局和上海市政府共同主办，联合国工业发展组织、联合国开发计划署、世界知识产权组织支持，是我国首个集技术展示和交易服务为一体的国家级、国际性、综合性展会。

-1 技术跃进-

采用先进32英寸大尺寸热场设计，结合GSim热模拟技术，热场结构革新，效率与节能并举；

-2 纯净优化-

内置智能真空排气系统，自动化去除氧化物，确保生产流程更纯净；

-3 工艺革新-

独有气囊密封技术及水平开闭真空水冷旋板阀，解决工艺气体控制难点，确保晶体直径恒定，降低不良品产出；

-4 双层防护-

创新双层水冷套系统，强化冷却效能同时有效清除氧化物，促进晶体更优成长；

-5 精确控制-

德国高精度激光液口距检测反馈控制系统，液面到热屏距离精控误差仅±0.5mm，为拉晶过程保驾护航；

-6 精妙升降-

应用高精度升降机模组驱动，实现四轴同步升降的磁场装置，确保稳定无振动，无异响，提升操作的可靠性；

-7 自动校准-

一体化重锤籽晶夹头装置，创新锥面接合设计，大幅提升籽晶与夹头的贴合度，提升工作效率和产品品质，保证安装可靠性和一致性。